【工程別】溶剤回収装置の選び方

製造現場では、洗浄や乾燥、清浄、アセンブリなどの工程で多様な溶剤が使用されています。これらの溶剤は、脱脂・除塵・乾燥・接着などの用途で欠かせない一方、VOC（揮発性有機化合物）として大気中に放出されると環境汚染の原因にもなります。そのため、工程ごとに適した溶剤回収装置を導入し、再利用と環境対策を両立することが重要です。

この「工程別・溶剤回収」カテゴリでは、半導体・電子部品・精密製造などの各工程における溶剤回収の仕組み、選定ポイント、導入メリットを解説しています。さらに、小風量・水溶性溶剤対応に優れた栗本鐵工所の真空脱着（PSA）方式溶剤回収装置についても、各工程の特性に合わせて紹介します。

工程別に見る溶剤回収の仕組みと最適装置

ウェハ洗浄・乾燥モジュールにおける溶剤回収

フォトリソ後のウェハ洗浄や乾燥では、IPAやアセトンなどの溶剤を使用します。真空脱着（PSA）方式を採用した装置なら、水分を含む排気でも排水量を最小化しつつ安定したIPA回収が可能です。

ウェハ洗浄・乾燥モジュールにおける
溶剤回収の詳細を見る

クリーンルーム清浄における溶剤回収

クリーンルーム清浄では、IPAやエタノールなどのアルコール系溶剤が多用されます。真空脱着方式は、水蒸気を使わずに常温で吸着剤を再生できるため、清浄環境を乱さず低排水運転を実現します。

クリーンルーム清浄における
溶剤回収の詳細を見る

装置・パーツ洗浄における溶剤回収

装置や部品のメンテナンス洗浄では、炭化水素系・エステル系など多様な溶剤が使われます。真空脱着（PSA）方式は、蒸気を使わず常温再生で安全に炭化水素系溶剤を回収できるため、防爆環境にも適しています。

装置・パーツ洗浄における
溶剤回収の詳細を見る

後工程・アセンブリ・パッケージにおける溶剤回収

接着・封止・実装などの後工程では、エステル系やアルコール系溶剤が多く使われます。真空脱着方式による溶剤回収は、低排水・高純度・省エネ運転を同時に実現し、高品質生産ラインにも最適です。

後工程・アセンブリ・パッケージにおける
溶剤回収の詳細を見る